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扩散泵油的特性及返油

对扩散泵油的要求

扩散泵油的性质对扩散泵的抽气性能影响特别大,因而对扩散泵油的基本要求是:

1)泵油的分子量要大;

2)为了降低泵的极限压力,要求泵油在常温下得饱和蒸汽压要低;

3)为了使泵能在较高的出口压力下工作,要求泵油在沸腾温度下得饱和蒸汽压应尽可能大;

4)泵油的热稳定性(高温下不易分解)和抗氧化性能(与大气接触时不会因氧化改变泵油的性能)要好;凝固点和低温黏度要低;

而且还要无毒、耐腐蚀、成本低。

泵油对极限压力的影响

泵油的种类和成分对泵的极限压力影响很大,在结构相同的扩散泵中,如果使用3号扩散泵油,其极限压力只能达到10-5帕;而改用

275号硅油,其极限压力能达到10-7帕,极限压力可降低两个数量级。

真空系统中被抽气体的分压力也随泵油的不同而变化,这就是泵油成分所带来的影响。例如,油扩散泵抽气系统中不加特殊措施很

难获得较清洁的真空。

泵油的饱和蒸气压

为了获取高真空,希望泵油在常温下有较低的饱和蒸气压。同时又要求泵在较高的出口压力下工作,希望泵油在锅炉温度下有较高

的饱和蒸气压。因此,最适合扩散泵工作的泵油其饱和蒸气压随温度变化的关系曲线的斜度要大。

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