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如何处理真空系统污染

低真空装置如真空输送、真空浸渍、真空过滤、真空单调、真空脱气(钢水处置)等恳求具有工作压力高、排气量大的低真空泵抽

气机组,这类低真空抽气机组主泵常用往复式真空泵、油封式真空泵、水蒸气放射泵、水环泵、罗茨泵等。运用的低真空抽气机组

还需根据被抽气体清洁程度、湿度或其他特殊恳求,配置必要的除尘器、单调罐等部件。

水蒸气在紧缩过程中会凝结成水滴,并与泵混合构成悬浮液,不只会使真空度降落,也能使泵腔与转子生锈,破坏密封面,使泵的

极限真空度降落。为此,防止水蒸气对机械泵的污染很重要。防止的措施有:

(1 )选用带有气镇装置的油封机械泵;

(2 )装油分别器、离心式分别器或油水分别器,将混有水的机械泵油中止处置,处置过的油再流入泵中运用;

(3 )运用吸水性强的单调剂;


(4 )运用液氮冷阱,不只能有效地吸附水蒸气,同时还可以阻挠机械泵油向高真空室返流。


油扩散泵真空系统污染与防治

油扩散泵真空系统是运用最普遍的真空系统,其获得真空度范围为1.3×10-3 ~1.3×10-5 Pa。油扩散泵真空系统构成的各类真空

装置,长期运用后,常见的缺点是真空度抽不上去,或真空度抽不到原来的极限真空水平。与真空室内壁的油蒸气污染、真空工艺

过程各种污染物的污染有关,防止的办法是:

(1 )定期清洗真空室;

(2 )定期对油封机械真空泵和油金属扩散泵中止清洗。

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